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アイテム
プラズマイオン注入法を用いた薄膜形成、および表面処理
https://it-hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/1152
https://it-hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/1152efd6961d-f52e-4f76-826b-0e8ca0d2a45e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
research56_145-154.pdf (2.9 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-03-30 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | プラズマイオン注入法を用いた薄膜形成、および表面処理 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Thin film formation and surface treatment using plasma ion implantation method | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | plasma based ion implantation, plasma density, oxygen, nitrogen | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
| 著者 |
田中, 武
× 田中, 武
× Takeshi, TANAKA
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| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | In the PBII method, the ion density in the sheath could be obtained based on the modulator equivalent circuit. In the PBII method, the self-ignitting plasma used in the sterilization process was formed, and the plasma density and sheath length could be calculated from the obtained discharge current-high voltage voltage waveform. Using this method, some of the important parameters such as plasma density and sheath length could be obtained when designing the equipment in the future. | |||||||||||
| 書誌情報 |
広島工業大学紀要. 研究編 巻 56, p. 145-154, 発行日 2022-03 |
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| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 広島工業大学 | |||||||||||
| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 13469975 | |||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AA11599110 | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | publisher | |||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||
