| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2023-03-30 |
| タイトル |
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タイトル |
RF-DC 結合電源を用いたSnO2表面の水素プラズマ耐性改善 |
| タイトル |
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タイトル |
Improvement of the Hydrogen Plasma Durability of SnO2 Surface by using RF-DC Coupled Power Supply |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
SnO2 |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
X-ray photoelectron spectroscopy |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
solar cel |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
hydrogen plasma exposure. |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 著者 |
田中, 武
川畑, 敬志
Tanaka, Takeshi
Kawabata, Keishi
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
R. F. power and d. c. bias were simultaneously applied to an electrode in a conventional plasma chemical vapor deposition (PCVD) system in order to suppress the reduction reaction of SnO2 induced by a hydrogen-containing plasma. It was found that the position of the positive column on the substrate was shifted to the rf electrode by increasing dc bias voltage. As a result, the reduction reaction of the SnO2 surface exposed to hydrogen plasma is dramatically suppressed. |
| 書誌情報 |
広島工業大学研究紀要
巻 29,
p. 29-33,
発行日 1995
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| 出版者 |
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出版者 |
広島工業大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
03851672 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0021271X |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kenkyukiyo29029.pdf (214.7 kB)
